Capteurs microélectroniques

   Introduction : apport de la microélectronique à la technologie descapteurs

   1 Matériaux de la microélectronique

   1.1 Silicium (structure cristalline, caractéristiques mécaniques ettribologiques, piézorésistance)

   1.2 Dérivés du silicium : SiO2 et Si3N4

   1.3 Autres matériaux

   2 Technologie du micro-usinage collectif

   2.1 Caractéristiques générales

   2.2 Gravure plasma RIE

   2.3 Gravure isotrope liquide

   2.4 Gravure anisotrope liquide (principales caractéristiques, influence dudopant, gravure électrochimique)

   3 Techniques d'assemblage

   3.1 Problématique

   3.2 Colles

   3.3 Soudure électrostatique verre-silicium

   3.4 Soudure silicium/silicium

   4 Application des structures micro-usinées

   4.1 Capteurs de pression

   4.2 Microphones

   4.3 Capteurs d'accélération

   4.4 Capteurs de champ magnétique

   4.5 Capteurs chimiques

   5 Capteurs non micro-usinés

   5.1 Capteurs de température

   5.2 Capteurs de débit

   5.3 Capteurs de force

   5.4 Capteurs sensitifs

   5.5 Capteurs photoniques

   5.6 Capteurs magnétiques

   5.7 Capteurs chimiques

   6 Conclusion

   Pour en savoir plus