Glossaire

# Demande chimique en phase vapeur (CVD) : définition

Processus durant lequel un précurseur est porté à l'état de vapeur ; il réagit alors pour conduire à la formation d’un solide qui se condense à la surface d'un substrat. En ajustant le débit du gaz porteur, la température et la pression, il est possible de contrôler la forme des particules obtenues.
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Articles de références et fiches pratiques à propos de : Demande chimique en phase vapeur (CVD)

Dépôts chimiques à partir d’une phase gazeuse
Réf : M1660

par le procédé de dépôts chimiques à partir d’une phase gazeuse (Chemical Vapor Deposition : CVD) connaissent... -métalliques. Le dépôt chimique à partir d’une phase [...]

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Systèmes de production de vapeur
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