Glossaire

Homo-/hétéro-épitaxie : définition

Épitaxie d’une couche mince de même nature (homo-) ou de nature différente (hétéro-) de celle du substrat. La notion d’épitaxie traduit l’existence d’une relation cristallographique et d’un accord de maille cristalline entre la couche épitaxiée et son substrat.
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