# PACVD : définition

des procédés : CVD (dépôt chimique en phase vapeur) ; PVD (dépôt physique en phase vapeur) ; PACVD...

Les procédés de dépôt sous vide par procédés plasma ont connu un essor important au cours des décennies passées : au niveau technologique avec l'introduction de plusieurs nouvelles sources et au niveau applicatif avec un chiffre d'affaires qui a bondi ces dernières [...]

(a-C et ta-C). L'utilisation de procédés hybrides PVD / PACVD (voir § 1.2.1.2) permettent de faire... ). Afin de réduire les températures de travail, le procédé CVD est généralement assisté par plasma (PACVD... est majoritairement faite [...]