Incontournable présence des métaux
Métallurgie pour la microélectronique à support silicium

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Incontournable présence des métaux
Métallurgie pour la microélectronique à support silicium

Auteur(s) : Dominique MANGELINCK, Olivier THOMAS

Date de publication : 10 juillet 2020 | Read in english

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2. Incontournable présence des métaux

On parle volontiers de « l'âge du silicium ». Pourtant, les métaux sont présents à tous les niveaux dans la microélectronique. En effet, un composant électronique se doit de transporter des électrons  : c'est la fonction des interconnexions formées de métaux à très haute pureté et à très bonne conductivité électrique. Ce faisant, il génère de la chaleur qui doit être évacuée ; les supports de circuits remplissent cette fonction et les matériaux composites à matrice métallique se taillent la part du lion. La caractéristique d'un circuit électronique est d'être architecturée spatialement du point de vue de sa chimie : des barrières de diffusion doivent être mises en place, qui sont souvent constituées d'intermétalliques. Les grilles des transistors sont formées d'empilements complexes de métaux et de matériaux...

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