4. Conclusion
Cet article a présenté les éléments de contexte sur la naissance du concept de microsystèmes, ou MEMS, avec quelques exemples emblématiques comme les accéléromètres que l’on retrouve aujourd’hui dans de nombreuses applications (airbags automobiles, téléphones portables).
Nous avons ensuite donné les définitions et les principaux principes de fonctionnement permettant leur conception. Il faut retenir les fonctions de base côté capteurs (micromécaniques, chimiques et biochimiques, optiques, magnétiques…), et côté actionneurs (électrostatiques, piézoélectriques et électromagnétiques…).
Nous avons aussi présenté les procédés de fabrication, en particulier ceux spécifiques aux microsystèmes, jusqu’aux aspects de mise en boîtier. Et un certain nombre d’applications, non exhaustives car très nombreuses, ont été exposées tout au long de l’article....
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