3. Technologies des microsystèmes
Le matériau « roi » des microsystèmes est le silicium (Si) que nous connaissons pour ses caractéristiques de semi-conducteur appliqué à la microélectronique. Il possède également d’excellentes propriétés mécaniques et d’innombrables possibilités de combinaisons pour réaliser des fonctions optiques, chimiques ou biochimiques. De plus, le caractère cristallin du silicium permet d’assurer une très bonne reproductibilité des propriétés des composants.
La technologie des microsystèmes MEMS est héritière de toutes les technologies mises au point pour la réalisation de composants électroniques, de circuits intégrés numériques ou analogiques et de dispositifs de puissance. Ces technologies combinent de nombreuses opérations successives d’oxydation, d’implantation, de diffusion, de dépôts ou de croissance de couches minces alternées avec des opérations de photolithographie...
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Technologies des microsystèmes
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