1. Contexte
1.1 Définitions et premiers exemples
Les microsystèmes sont des dispositifs compacts miniaturisés, multifonctionnels, fabriqués collectivement, qui interagissent avec le monde environnant par des capteurs et des actionneurs. De plus, ils sont en mesure d’échanger de l’information et de communiquer avec le monde extérieur ou avec d’autres microsystèmes, grâce à des fonctionnalités électroniques et mécaniques couplées.
Ils sont nés à la fin des années 1980 autour du concept de micro-poutre ou membrane vibrante utilisée comme capteur, par exemple en magnétomètre ou capteur de pression ou d’accélération.
Le concept de microsystème a rapidement suscité un vif intérêt, en particulier selon deux...
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Définitions et principes de fonctionnement
Sources bibliographiques
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