2. Définitions et principes de fonctionnement
Les microsystèmes, au sens de la définition européenne du terme,
sont des dispositifs multifonctionnels miniaturisés intelligents.
Ils associent des éléments mécaniques, optiques, électromagnétiques,
thermiques et fluidiques à de l’électronique. Ils assurent des fonctions
de capteurs pouvant identifier des paramètres physiques de leur environnement
(pression, accélération, température…) et/ou d’actionneurs pouvant
agir sur cet environnement.
On divise habituellement les microsystèmes en deux catégories :
ceux qui détectent l’information, appelés capteurs, ils récoltent une information locale telle que mécanique, thermique,
biologique, chimique et optique ;
ceux qui peuvent répondre à l’information,...
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Définitions et principes de fonctionnement