5. Remerciements
L'ensemble des résultats présentés dans cet article a été obtenu en collaboration avec le CEA/LETI pour la partie modulateur silicium et le laboratoire L-Ness (Come, Italie) pour la partie multipuits Ge/SiGe. Les auteurs remercient l'ensemble des personnels des salles blanches du CEA/LETI, du L-Ness et de la CTU-IEF-Minerve, et plus particulièrement Jean-René Coudevylle, Xavier Le Roux et Samson Edmond pour leur aide dans le développement des étapes technologiques. Des remerciements sont également exprimés à Paul Crozat de l'IEF pour son expertise dans l'ensemble des aspects hyper-fréquences et Eric Cassan et Suzanne Laval pour leurs fructueuses discussions. Enfin, ces travaux ont reçu des financements de la commission Européenne (projet HELIOS), et de l'Agence Nationale pour la Recherche (ANR) (projets SILVER et GOSPEL).
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