4. Espaceurs
Un espaceur est un élément important de la structure d’un transistor CMOS. Il sert à protéger les flancs des transistors lors de la fabrication des sources et des drains et de la fabrication des zones de contact entre le silicium et le premier niveau métallique. Il est fabriqué en deux phases : une première correspondant à un dépôt d’un film de nitrure de silicium, puis une gravure anisotrope sans masque permettant de ne laisser le film que sur les parois des transistors, comme représenté à la figure 11 . Les espaceurs doivent être résistants aux procédés de gravure en phase gazeuse et en phase liquide, aux traitements oxydants utilisés par exemple pour le retrait des résines, et...
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Espaceurs
Masquage pour la fabrication de petites structures
Sources bibliographiques
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