7. Types de chambres de dépôt ALD et vitesse de dépôt
La taille du marché des équipements ALD dédiés à la microélectronique est représentée à la figure 14 .
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Types de chambres de dépôt ALD et vitesse de dépôt
Dépôt PEALD modifié pour l’augmentation de la cinétique de croissance de Ta2O5
Sources bibliographiques
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