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Circuits en couches minces - Couches minces traditionnelles

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Circuits en couches minces - Couches minces traditionnelles

Auteur(s) : Michel MASSÉNAT

Relu et validé le 12 mars 2020 | Read in english

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2. Technologies

2.1 Techniques de réalisation et physique des couches minces

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2.1.1 Méthodes de dépôt

Il existe trois modes principaux de dépôt de couches, en général utilisables en électronique : sous vide, par dépôt chimique, par sérigraphie et cuisson. Seuls les deux premiers correspondent aux couches minces.

Il existe plusieurs méthodes de dépôt des couches minces, adaptées chacune à un type de couche. Pour un matériau donné, il peut exister plusieurs méthodes valables, et le choix parmi celles-ci peut dépendre...

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