2. Etat de l’art des microdispositifs de stockage de l’énergie électrique
Les microbatteries sont des dispositifs dont l'architecture peut être simplifiée en un empilement de deux électrodes séparées par un électrolyte à l'état solide d'une épaisseur micrométrique. Les éléments importants sont presque similaires à ceux des batteries lithium-ion de plus grande échelle, en particulier le collecteur de courant positif, la cathode, l'électrolyte, l’anode et le collecteur de courant négatif (figure
2
). En général, tous les processus de microfabrication sont effectués dans une salle blanche. Le dispositif est réalisé sur un substrat en silicium, verre ou métal, et les différentes couches sont déposées sous ultravide. Les dispositifs obtenus présentent des épaisseurs...
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