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RÉSUMÉ
Depuis l'apparition des premiers circuits MMICs (Monolithic Microwave Integrated Circuits ou circuit intégré monolithique hyperfréquence), en 1975, cette technologie n'a cessé d'évoluer et a maintenant de nombreuses applications. Cet article présente les performances, technologies et outils de conception de ces circuits. Puis il détaille plus particulièrement les procédés et étapes technologiques tant pour les filières III-V que Silicium.
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Lire l'articleAUTEUR(S)
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Gilles DAMBRINE : Professeur à l’Université de Lille, - Institut d’Électronique de Microélectronique et de Nanotechnologies, IEMN, France
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Didier BELOT : Ingénieur (PhD, HDR), STMICROELECTRONICS, Crolles, France
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Pascal CHEVALIER : Ingénieur (PhD), STMICROELECTRONICS, Crolles, France
INTRODUCTION
La première réalisation de circuits intégrés monolithiques analogiques micro-ondes (Monolithic Microwave Integrated Circuit : MMIC) en 1975 a ouvert un nouveau domaine qui n’a cessé d’évoluer. Alors que le développement de ces circuits a d’abord été entraîné par le secteur militaire, la plupart des applications sont maintenant civiles : soit pour le grand public telles que les radiocommunications terrestres, soit à hautes performances comme dans les répéteurs micro-ondes à bord de satellites. À l’origine, les MMICs concernaient exclusivement les technologies III-V, ils se sont étendus par la suite aux technologies silicium. Dans une première partie, nous présentons l’état de l’art et les potentialités fréquentielles des MMICs, les principales filières technologiques et leurs domaines d’applications. Nous y décrivons les principales étapes et outils de conception des MMICs. Une seconde partie est consacrée à la description générique de la technologie des MMICs suivie des étapes particulières aux technologies III-V et silicium.
Cette étude des circuits intégrés monolithiques micro-ondes se complète de plusieurs autres articles :
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MOTS-CLÉS
télécommunication | espace et défense | microélectronique haute fréquence
VERSIONS
Il existe d'autres versions de cet article :
- Version archivée 1 de févr. 2004 par Christian RUMELHARD
DOI (DIGITAL OBJECT IDENTIFIER)
MMIC : évolution et technologie
Présentation des MMICs
Sources bibliographiques
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