1. Réacteurs à plasmas pour le traitement des matériaux et des gaz
1.1 Générateurs de puissance et accord d’impédance des décharges
Les réacteurs à plasmas industriels peuvent être alimentés en courant continu, ou en courant alternatif à basse fréquence, haute fréquence (radiofréquence) ou très haute fréquence (micro-onde). Compte tenu des réglementations fixées par l’ITU ( International Telecommunications Union ), les fréquences disponibles pour un usage industriel, scientifique et médical (ISM) sont limitées comme le montre le tableau 1 .
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Réacteurs à plasmas pour le traitement des matériaux et des gaz
Méthodes de diagnostic
Références bibliographiques
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