4. Exemples de réalisations et de détections
Nous présentons dans ce paragraphe des exemples de microcapteurs chimiques à base de micropoutre en silicium conçus et testés au Laboratoire IMS de Bordeaux.
• Laboratoire IMS-Bordeaux http://www.ims-bordeaux.fr
4.1 Conception et fabrication des micropoutres
Les micropoutres ont été conçues au laboratoire IMS, puis fabriquées à l'ESIEE.
• ESIEE, École supérieure d'ingénieurs en électronique et électrotechnique, Marne la vallée http://www.esiee.fr
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Exemples de réalisations et de détections
Conclusion
Références
- (1) - FADEL (L.), LOCHON(F.), DUFOUR (I.), FRANÇAIS (O.) - Chemical sensing : millimeter size resonant microcantilever performance. - Journal of Micromechanics andMicroengineering, vol. 14, p. S23-S30 (2004).
- (2) - LOCHON (F.), DUFOUR(I.), REBIÈRE (D.) - A microcantilever chemical sensors optimization by taking into...
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