Exemples de réalisations et de détections
Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

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Exemples de réalisations et de détections
Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

Auteur(s) : Isabelle DUFOUR, Frédéric LOCHON

Date de publication : 10 avril 2006

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4. Exemples de réalisations et de détections

Nous présentons dans ce paragraphe des exemples de microcapteurs chimiques à base de micropoutre en silicium conçus et testés au Laboratoire IMS de Bordeaux.

• Laboratoire IMS -Bordeaux http://www.ims-bordeaux.fr

4.1 Conception et fabrication des micropoutres

Les micropoutres ont été conçues au laboratoire IMS, puis fabriquées à l'ESIEE.

• ESIEE , École supérieure d'ingénieurs en électronique et électrotechnique, Marne la vallée http://www.esiee.fr

...
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