3. Analyse de procédés
3.1 Corrélation géométrique
La mise en forme d'un polymère, par déformation ou moulage, est accompagnée de transfert de matière d'un endroit à un autre. Étant donné la taille des motifs à structurer, l'écoulement du polymère liquide dans un espace très confiné, entre le moule et le substrat, est difficile. Dans le cas de nanoimpression, la vitesse d'impression est d'autant plus grande que le déplacement du polymère est limité localement. Par ailleurs, on cherche aussi à minimiser l'épaisseur résiduelle de la résine à la fin de l'impression, h c , pour que le transfert par RIE ne modifie pas de manière sensible la forme imprimée. Une analyse simple permet de concevoir un meilleur procédé de fabrication (figure...
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Analyse de procédés
Fabrication des moules
Références bibliographiques
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