2. Classification des méthodes
2.1 Lithographie par nanoimpression
2.1.1 Nanoimpression thermique
On dépose d'abord une couche fine de polymère thermoplastique (résine) sur un substrat (échantillon) avec une tournette ( cf. figure 2 ). Après chauffage du moule jusqu'à une température supérieure à celle de la transition vitreuse du polymère ( T...
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Classification des méthodes
Analyse de procédés
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