4. Fabrication des moules
La fabrication des moules est une étape critique puisque la résolution et le taux de production en nanoimpression et en nanomoulage dépendent largement de la qualité du moule utilisé. Les motifs à imprimer sont tous en relief sur la surface d'un moule, obtenus :
soit par lithographie électronique et gravure ionique réactive ;
soit par duplication d'un autre moule préfabriqué (master).
Enfin, un traitement de surface du moule est toujours nécessaire quel que soit le type d'applications.
PMGI : polydiméthylglutarimide.
4.1 Écriture de motifs
Les motifs...
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Fabrication des moules
Dispositif d'impression
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