Présentation
RÉSUMÉ
Technique d’investigation des matériaux devenue indispensable pour l’étude de la microstructure des alliages, la sonde atomique tridimensionnelle était cependant limitée à ses origines à l’analyse des matériaux bons conducteurs de l’électricité. La nouvelle génération de sonde 3D assistée par un laser pulsé permet d’analyser en 3D les matériaux moins bons conducteurs et en particulier les semi-conducteurs et oxydes. Cet article présente le principe et les performances de la sonde atomique tomographique laser. Ce nouvel outil ouvre un large champ d’application en microélectronique, notamment celui de la compréhension des mécanismes de dégradation des interconnexions entre le matériau semi-conducteur et les contacts métalliques.
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Bernard DECONIHOUT,
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François VURPILLOT,
INTRODUCTION
Avec l’émergence de la sonde laser, il est désormais possible d’analyser en 3D les matériaux mauvais conducteurs, en particulier les semi-conducteurs et oxydes, importants en micro-électronique.
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La sonde atomique tridimensionnelle laser
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