5. Exemples d’applications
La flexibilité de la technique d’ALD et son applicabilité à un grand nombre de types de substrats a conduit à une grande variété de réacteurs ALD, adaptés pour le dépôt sur des substrats ayant une grande variété en taille et en forme.
Dans l’environnement de laboratoire, où des petits échantillons, avec des dimensions à l’échelle du centimètre, doivent être traités, des machines construites par l’utilisateur, ou des simples machines commerciales de recherche et développement sont utilisées (voir par exemple
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Exemples d’applications
Conclusion
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