3. Procédé ALD
Le procédé ALD est ici décrit dans son ensemble, c’est-à-dire ses caractéristiques clés (cycle ALD, dépôt chimique, réactions de surface, effet de la température, du nombre de cycles, du programme…), ainsi que sa mise au point
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Procédé ALD
Matériaux déposés par ALD
Sources bibliographiques
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