1. Contexte
Comme pour l’ensemble des méthodes d’élaboration, l’optimisation des propriétés recherchées d’un matériau fonctionnel élaboré par ALD est nécessairement liée à la maîtrise du processus d’élaboration. Cette maîtrise peut être acquise suite à de très nombreuses expériences de croissance analysées par des techniques
ex situ
et
a posteriori
. Une autre façon de répondre à cette demande est d’analyser
in situ
les espèces créées dans la phase gazeuse et de les confronter à des calculs thermodynamiques
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Contexte
Détermination du GPC
Sources bibliographiques
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