5. Glossaire
Dépôt de couches atomiques ( ALD ) ; Atomic Layer Deposition
Technique de dépôt des couches ultra-minces qui est basé sur l’utilisation de plusieurs précurseurs en phase gazeuse qui sont amenés successivement sur une surface où ils vont réagir avec elle, en mode séquentiel.
Dépôt chimique en phase vapeur ( CVD ) ; Chemical Vapor Deposition
Technique de dépôt des couches ultra-minces qui consiste à mettre un composé volatil du matériau à déposer en contact soit avec un autre gaz au voisinage de la surface à recouvrir, soit avec la surface en question, de façon à provoquer une réaction chimique donnant au moins un produit solide....
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