Glossaire
Pulvérisation cathodique magnétron à haute puissance (HiPIMS)

Dépôt physique en phase vapeur ; Physical vapor deposition

Procédé dans lequel un matériau est vaporisé physiquement (par chauffage ou bombardement ionique) dans le vide, puis condense sur une surface pour former un film mince.

Magnétron ; Magnetron

Dispositif qui utilise un champ magnétique combiné à un champ électrique pour piéger les électrons près de la surface de la cible (cathode), ce qui augmente la densité du plasma et améliore le rendement de pulvérisation.

Auto-pulvérisation ; Self-sputtering

Une fraction des atomes éjectés de la cible peut être ionisée dans la région d’ionisation, proche de la cathode. Ces ions, sous l’effet du champ électrique, peuvent alors être réattirés vers la cathode, et participer activement à la pulvérisation, dans un mécanisme dit d’auto-pulvérisation.

Piste d’érosion ;...