6. Glossaire
Dépôt physique en phase vapeur ; Physical vapor deposition
Procédé dans lequel un matériau est vaporisé physiquement (par chauffage ou bombardement ionique) dans le vide, puis condense sur une surface pour former un film mince.
Magnétron ; Magnetron
Dispositif qui utilise un champ magnétique combiné à un champ électrique pour piéger les électrons près de la surface de la cible (cathode), ce qui augmente la densité du plasma et améliore le rendement de pulvérisation.
Auto-pulvérisation ; Self-sputtering
Une fraction des atomes éjectés de la cible peut être ionisée dans la région d’ionisation, proche de la cathode. Ces...
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