4. Conclusion
Les mesures dimensionnelles par interférométrie laser sont très répandues pour le contrôle métrologique sur les machines-outils ou lors de l’assemblage de grandes structures industrielles ou scientifiques. Ces méthodes reposent sur des principes d’optique physique bien connus, en particulier basés sur l’utilisation d’interféromètres de Michelson associés à des composants laser standards : sources laser de type He-Ne ou diode laser. L’objectif de cet article est de rappeler les principes de base des techniques interférométriques pour les mesures dimensionnelles et de les illustrer avec la présentation de plusieurs solutions commerciales. Les éléments de base des systèmes, sources laser et interféromètres, ont été présentés, à la fois pour réaliser de la détection homodyne et hétérodyne, respectivement à une et deux longueurs d’onde. On voit alors que les performances sont différentes suivant...
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