Conclusion
Métrologie des surfaces

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R1390 V1 Article de référence

Conclusion
Métrologie des surfaces

Auteur(s) : Patrick BOUCHAREINE

Date de publication : 10 septembre 1999 | Read in english

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7. Conclusion

Le rôle des surfaces dans les technologies modernes justifie le nombre très important d’instruments nouveaux apparus pour les étudier. Caractériser les surfaces d’un point de vue purement géométrique est chose complexe. Les outils de traitement des signaux à une dimension (filtres, analyseurs de spectres) ont trouvé leurs équivalents pour les grandeurs bidimensionnelles, et pour les surfaces isotropes, l’analyse unidimensionnelle d’un profil est suffisante pour apporter une bonne connaissance de la surface. À l’étalonnage des sondes et des capteurs qui servent à dresser la carte d’une surface, il faut adjoindre la connaissance des bandes passantes des fonctions de transfert de l’instrumentation mise en oeuvre. Cette dernière condition est souvent la plus difficile à remplir pour comparer des résultats obtenus par des voies différentes.

Nous avons vu des dispositifs...

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