4. Pompes ioniques
Définitions normatives :
« Pompe ionique à sorbeur (getter) : pompe à fixation dans laquelle les molécules de gaz sont ionisées, puis transférées vers une surface de la pompe sur laquelle, par l’action de champs électriques combinés ou non à un champ magnétique, elles sont fixées par un sorbeur (getter) ».
« Pompe ionique à sublimation : pompe ionique à sorbeur dans laquelle le gaz ionisé est transféré vers un sorbeur sublimé soit de façon continue, soit de façon discontinue ».
« Pompe ionique à pulvérisation : pompe ionique à sorbeur dans laquelle le gaz ionisé est transféré vers un sorbeur dispersé par pulvérisation cathodique...
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Pompes ioniques
Bibliographie
Dans les Techniques de l’Ingénieur
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