Pompes à fixation

Les pompes volumétriques et les pompes cinétiques extraient les gaz du réservoir à vider pour les transférer à une pression supérieure, en général la pression atmosphérique. Les pompes à fixation piègent les gaz en les fixant sur leurs parois dans des conditions telles que la réémission de la surface piégeante soit extrêmement faible.

Les normes NF X 10-501 et ISO 3529-2 définissent ainsi une pompe à fixation «  Pompe à vide sur les parois intérieures de laquelle les molécules sont fixées par sorption ou par condensation  ».

Toutes les pompes à fixation ont des caractères communs favorables ou défavorables qui les font prescrire ou éviter selon les utilisations :

• elles ne sont pas contaminantes, en particulier, elles ne sont pas sources d’émission de vapeur d’huile ;

• ce sont des cavités fermées qui ne communiquent pas avec l’atmosphère ; une panne du système d’alimentation électrique ne provoque donc pas d’entrée d’air dans l’enceinte sous vide, ni de rétrodiffusion de vapeurs indésirables ;

• elles ont une capacité de sorption limitée à une certaine quantité de gaz ; on évitera donc de les utiliser à des pressions élevées (hormis les pompes primaires à adsorption) puisque le flux gazeux est proportionnel à la pression ; ce seuil de pression peut être différent selon les pompes : pression atmosphérique pour les pompes à sorption, ou 10 ⁻¹  Pa à 10 ⁻³  Pa pour les pompes getter ou les pompes ioniques, ainsi que pour les pompes cryogéniques, mais le phénomène reste qualitativement le même ;

• la pompe une fois saturée doit être régénérée ; le laps de temps au bout duquel doit être exécutée cette opération est fonction de l’usage qui en est fait ; elle peut travailler très longtemps sans régénération, si on ne l’utilise qu’à très basse pression et qu’il n’y a que très peu de gaz à pomper (dégazage et perméation extrêmement faibles et fuites quasiment inexistantes) ;

• le débit-volume (vitesse de pompage) des pompes à fixation est très sélectif en fonction des gaz à pomper. Certains types peuvent même avoir un débit nul vis-à-vis de certains gaz comme nous le verrons plus loin. Il n’est donc pas rare d’associer différents types de pompes dont les performances sont complémentaires. Les récents progrès en matière de pompage sous vide limitent néanmoins ces associations qui restent délicates à gérer ;

• les pompes à fixation sont des machines statiques ; elles n’engendrent pas de vibrations qui...