1. Généralités
1.1 Concept de micromécanique
De nombreux dispositifs mécaniques de très petite taille peuvent être réalisés par combinaison des éléments de base tridimensionnels cités dans l’introduction : vannes, ressorts, miroirs, injecteurs, connecteurs, têtes d’imprimantes, capteurs de force, de pression, accéléromètres et même micromoteurs. C’est le concept de micromécanique.
Les composants micromécaniques ainsi fabriqués peuvent être associés ou interfacés avantageusement, s’ils sont en silicium, avec des circuits micro-électroniques. On arrive ainsi à la notion de microsystèmes , qui, selon certains, annonce une révolution comparable à celle des microprocesseurs. On peut ainsi trouver sur une même puce ou sur un assemblage de...
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Généralités
Silicium
Références bibliographiques
Silicium
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