2. Aspects expérimentaux
2.1 Techniques de fabrication
C’est en grande partie grâce aux progrès de fabrication par microlithographie que l’électronique à un électron a pu se développer à la fin des années 1980. Si l’on tient compte de la température à laquelle il est raisonnable de travailler avec un réfrigérateur à dilution commercial (entre 20 mK de 30 mK), les valeurs des capacités mises en jeu sont de l’ordre de la dizaine d’attofarads, ce qui implique des surfaces d’objets inférieures à 0,01 µm 2 . La fabrication de ces dispositifs requiert donc un processus technologique particulier pour permettre la réalisation de jonctions tunnel dont les dimensions au niveau du recouvrement sont voisines de 40 nm : la lithographie électronique. La technique employée pour...
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Aspects expérimentaux
Aspects métrologiques
Bibliographie
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