4. Conclusion
Les techniques utilisant la fluorescence X à des fins de quantification sont désormais répandues et montrent des avantages parmi lesquels l’analyse non destructive. Si la préparation de l’échantillon peut être sommaire, l’idéal serait de n’en faire aucune. Cependant, jusqu’à présent, cela se fait au prix d’une plus grande incertitude sur le résultat.
La quantification sans référence a trouvé une application à l’analyse des couches minces d’épaisseurs nanométriques en combinant la réflectivité aux rayons X et la fluorescence X émise par les éléments présents dans les couches minces. Les principaux verrous à la diffusion de cette méthode résident encore dans la limitation en choix d’énergie des sources de rayons X de laboratoire et dans le caractère expert de l’analyse.
Des techniques concurrentes et plus connues des utilisateurs (XPS, SIMS,...
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