3. Applications en métrologie des couches minces
La mesure sous incidence rasante à l’aide de rayons X permet de sonder des épaisseurs de matériaux très faibles, de l’ordre du nanomètre ou moins, grâce aux propriétés optiques de ces rayonnements photoniques à ces énergies. En effet, dans le domaine des énergies X, les indices optiques, , des éléments s’écrivent , avec ...
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Applications en métrologie des couches minces
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