4. Résultats et applications
À ce jour, les microscopes optiques en champ proche ont prouvé que l’on pouvait en optique obtenir des images avec une résolution latérale bien en deçà du critère de Rayleigh. Mais la résolution est encore moins bonne que celle du microscope électronique par effet tunnel ou du microscope à force atomique. Cependant, même avec une résolution limitée à 20 nm, la microscopie optique en champ proche est promise à un grand développement car elle permet d’étendre dans le domaine submicronique toutes les méthodes op-tiques d’analyse, de mesure et de fabrication. Depuis deux ans, le nombre de publications est en forte augmentation, illustrant les diverses possibilités de cette nouvelle microscopie optique. Nous allons présenter quelques-uns des meilleurs résultats en résolution, puis nous exposerons, en les classant, quelques exemples d’applications.
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Résultats et applications
Conclusion
Dans les Techniques de l’Ingénieur
- (1) - SALVAN (F.) - Microscopie par effet tunnel - . Techniques de l’Ingénieur, P 895, vol. P1 (1989).
- (2) - ARNOLD (M.) - Microscopie optique - . Tech-niques de l’Ingénieur, P 860, vol. P1 (1993).
Références
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