4. Glossaire
Amplificateur à détection synchrone ; Lock-in amplifier
Technique permettant d’extraire des signaux de faible amplitude, noyés dans du bruit important.
Dépôt physique en phase vapeur ; Physical Vapor Deposition
Technique permettant de déposer des couches minces sous vide. Elle comprend les techniques d’évaporation, la pulvérisation cathodique, l’ablation par laser pulsé, l’épitaxie par jet moléculaire ou encore le dépôt par arc électrique.
Dépôt chimique en phase vapeur ; Chemical Vapor Deposition
Technique permettant de déposer des couches minces sous vide. Elle comprend par exemple les techniques de dépôt à pression atmosphérique (APCVD), à pression réduite (LPCVD), sous vide (UHVCVD) ; assistée par aérosol (AACVD), à injection de liquide (DLCVD) ; assistée par plasma (PECVD, RPECVD), plasma micro-onde (MPCVD) ; de dépôt...
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