5. Manomètres et instrumentation
Le vide couvre les pressions inférieures ou égales à la pression atmosphérique. Des manomètres utilisés dans le domaine de la pression peuvent parfaitement l’être également dans le domaine du vide grossier à moyen. Les manomètres de type résonnant (ceux qui mesurent spécifiquement la pression absolue) sont présentés dans ce chapitre. Ces derniers reposent sur un principe mécanique. Les manomètres à membrane capacitive (lorsqu’ils sont utilisés en manomètres de pression absolue), sont largement réputés pour être des manomètres à vide, bien que leur principe repose sur une déformation mécanique. De manière ultime, sous un vide poussé (tableau 1 ), de tels manomètres peuvent détecter une variation de pression de l’ordre de 1 × 10...
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Manomètres et instrumentation
Mesure du vide : en pratique
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