Mesure du vide

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Mesure du vide

Auteur(s) : Denis PERRILLAT-AMÉDÉ

Date de publication : 10 juillet 1996

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Présentation

AUTEUR(S)

  • Denis PERRILLAT-AMÉDÉ : Ingénieur ENSMM (École nationale supérieure de mécanique et des microtechniques) - Ex-ingénieur d’études « Vide secondaire et ultravide », CIT Alcatel.

 INTRODUCTION

Cet article actualise l’article précédemment rédigé par Pierre DUVAL , ancien chef du service Études-Vide CIT-Alcatel, dont il reprend de larges extraits.

Ce que l’on nomme couramment le vide est constitué par le domaine des atmosphères gazeuses dont la pression est inférieure à la pression atmosphérique. Il faut être bien conscient que, dès que l’on s’écarte notablement de la pression atmosphérique, « mesurer le vide » est une opération difficile : de la pression atmosphérique à l’ultra-vide, la plage à mesurer s’étend sur 15 à 16 décades, et l’on conçoit facilement qu’il faut se résigner à utiliser plusieurs appareils de mesure de types différents pour couvrir une étendue aussi considérable.

Par souci de commodité, on découpe assez arbitrairement le domaine du vide en intervalles de pression P, auxquels on donne par convention les noms suivants :

  • vide primaire 10 2 Pa < P < 10 5 Pa ;

  • vide moyen 10 –1 Pa < P < 10 2 Pa ;

  • vide poussé 10 –5 Pa < P < 10 –1 Pa ;

  • ultra-vide P < 10 –5 Pa.

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