Instrumentation
Analyse de surface par ESCA — Principe et instrumentation

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Analyse de surface par ESCA — Principe et instrumentation

Auteur(s) : TRAN MINH DUC

Date de publication : 10 juin 1998

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3. Instrumentation

Ce paragraphe ne se présente pas comme un traité technique sur l’instrumentation ESCA. Son but est de fournir aux utilisateurs les informations et les bases physiques pour choisir les meilleures conditions instrumentales afin de réaliser leurs mesures. Si jusqu’à la fin des années 80, les analyseurs d’électrons en ESCA n’ont pas évolué de façon importante, ces dernières années des améliorations très significatives et même de nouveaux concepts ont été introduits par les constructeurs, notamment en matière de sensibilité, résolution en énergie, résolution spatiale et imagerie. La technique est actuellement en pleine évolution et l’état de l’art en instrumentation ESCA se renouvelle en l’espace de quelques années seulement.

A l’heure actuelle, le marché de l’instrumentation ESCA n’est dominé que par quelques constructeurs qui sont Kratos (Royaume-Uni), Physical Electronics...

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