Particularités de l’ESCA. Comparaison avec les autres techniques de surface
Analyse de surface par ESCA — Principe et instrumentation

Applicable à tous les solides sous toutes leurs formes – massiques, films, poudres– et notamment aux isolants, elle peut analyser éventuellement les gaz [4] et les liquides [5] . Le faisceau X excitateur, par comparaison avec les faisceaux d’électrons ou d’ions mis en œuvre dans les autres techniques de surfaces, occasionne des dégradations moins importantes dans les échantillons analysés, ce qui est particulièrement intéressant pour l’analyse des matériaux fragiles tels que les composés organiques, polymères ou échantillons biologiques. Cependant les dégâts par irradiation ne sont pas absents ni négligeables en ESCA sur ces échantillons, surtout avec les microfaisceaux X intenses et focalisés des spectromètres...