Analyse élémentaire quantitative
Analyse de surface par ESCA — Analyse élémentaire et applications

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Analyse élémentaire quantitative
Analyse de surface par ESCA — Analyse élémentaire et applications

Auteur(s) : TRAN MINH DUC

Date de publication : 10 septembre 1998

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1. Analyse élémentaire quantitative

L’ESCA s’est imposée comme la technique quantitative d’analyse de surface. Le libre parcours moyen des photoélectrons dans la matière étant faible et notamment très inférieur à celui des photons, la profondeur d’analyse en ESCA est gouvernée par les premiers et ne dépasse pas la centaine d’angströms (10 nm). Les libres parcours des électrons, appelés parfois distances d’atténuation des électrons, sont identifiés avec les profondeurs moyennes d’analyse en ESCA dont l’ordre de grandeur est pris égal à 2 à 3 nm.

Le formalisme utilisé pour l’analyse quantitative en ESCA s’établit en considérant un processus d’émission des photoélectrons en trois étapes :

  • création du photoélectron à une profondeur z par photo-ionisation de l’atome ;

  • transport...

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