Analyse de surface par ESCA — Analyse élémentaire et applications

L‘ESCA est la technique de surface dont le domaine d’application est le plus vaste et le plus complet. En science des surfaces, elle permet l’étude directe de la structure électronique, de la liaison chimique, de la cristallographie, des reconstructions et surstructures des surfaces monocristallines propres et chimisorbées. En science des matériaux, ses applications vont de la catalyse à la microélectronique, à l’adhésion, aux composites, à l’épitaxie et aux dépôts de films minces, à la modification et au traitement de surfaces, à la corrosion, à l’étude du vieillissement des polymères, à celle des biomatériaux et implants et de la biocompatibilité. Dans l’industrie électronique, la technique est déjà utilisée en production et en ligne pour le contrôle de la qualité, la détection des contaminations superficielles, la vérification de l’épaisseur et de l’homogénéité de films et l’analyse de défauts et la résolution de problèmes de défaillances.

Le principe de la technique et l’instrumentation sont traités dans l’article « Analyse de surface par ESCA. Principe et instrumentation ».