1. Cartographie et analyse en profondeur
1.1 Microscopie Auger
L’acquisition d’une image en électrons secondaires de la surface de l’échantillon par microscopie électronique à balayage (MEB) est un préalable à toute analyse Auger car cette acquisition permet de sélectionner la zone d’intérêt pour y pratiquer ultérieurement une analyse ponctuelle. L’acquisition d’un spectre local peut être prolongée par la cartographie xy (ou un profil le long d’une direction privilégiée x ) d’un ou de plusieurs éléments donnés en mesurant, au cours du balayage de la sonde incidente, l’évolution de l’intensité des raies Auger correspondantes. La démarche est donc similaire à celle relative à l’acquisition d’une image en microscopie électronique à balayage...
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Cartographie et analyse en profondeur
Applications de la spectromicroscopie Auger
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