1. Cartographie et analyse en profondeur
1.1 Microscopie Auger
L’acquisition d’une image en électrons secondaires de la surface de l’échantillon par microscopie électronique à balayage (MEB) est un préalable à toute analyse Auger car cette acquisition permet de sélectionner la zone d’intérêt pour y pratiquer ultérieurement une analyse ponctuelle. L’acquisition d’un spectre local peut être prolongée par la cartographie xy (ou un profil le long d’une direction privilégiée x) d’un ou de plusieurs éléments donnés en mesurant, au cours du balayage de la sonde incidente, l’évolution de l’intensité des raies Auger correspondantes. La démarche est donc similaire à celle relative à l’acquisition d’une image en microscopie électronique à balayage en substituant la détection des électrons secondaires par la détection d’un ou de...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Cartographie et analyse en profondeur
Applications de la spectromicroscopie Auger
Bibliographie
Références
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Article inclus dans l'offre
"Techniques d'analyse"
(
391 articles
)
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.
Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.
Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.
Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.
