6. Conclusion et perspectives
Les microsystèmes sont définis comme étant des systèmes miniaturisés qui assurent plusieurs fonctions telles que la perception de l’environnement, la mise en forme, le traitement et la transmission des données, une prise de décision et une action sur l’environnement. Dans des domaines d’application comme, par exemple, l’ingénierie de la santé, l’automobile, l’espace, les télécommunications, etc., les avantages liés à la miniaturisation sont nombreux : diminution de la consommation de l’énergie, accroissement des fonctionnalités, utilisation de matériaux nobles, etc. Si la faisabilité de plusieurs approches technologiques a été démontrée, la filière silicium offre cependant la possibilité de réaliser une intégration très poussée des dispositifs et d’en réduire les coûts par la mise en œuvre de méthodes de fabrication collectives. Le concept de « microsystèmes intégrés » prend alors tout...
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