1. Techniques de micro-usinage
C’est dans les années 1960 qu’apparaissent les premiers procédés de micro-usinage permettant de réaliser des membranes suspendues et d’autres éléments intervenant dans la composition de capteurs de pression ou d’accélération. Il s’agit de micro-usinage volumique . Le principe consiste à appliquer un masque photolithographique sur du silicium monocristallin que l’on irradie par UV. Les zones exposées sont ensuite gravées avec des produits alcalins de façon à dégager des formes diverses selon l’orientation cristallographique du silicium (figure 1 ).
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Techniques de micro-usinage
Effets d’échelle dans les convertisseurs électromécaniques
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