Microcapteurs chimiques
Capteurs chimiques et biochimiques

Avec ses origines dans l’industrie microélectronique, la fabrication de réseaux de motifs en couches par photolithographie, sur la surface de tranches de silicium, est devenue un procédé standard de haute technologie bien connu. En plus de ses qualités de semiconducteur, le silicium monocristallin est abondant et peu cher, il peut être produit et transformé dans des conditions contrôlées, a d’excellentes propriétés mécaniques et chimiques (limite d’élasticité meilleure que celle de l’acier, module d’Young à peu près identique, dureté de Knoop comparable à celle du quartz, inertie chimique comparable au verre) et il est hautement adapté à la miniaturisation (en-dessous du micromètre).

Le traitement de surface, pour obtenir des structures...