2. Au-delà d’une simple approche ALD plus rapide
L’approche spatiale est très polyvalente et peut être mise en
œuvre selon de nombreuses configurations différentes, avec de nombreux
réacteurs rapportés à ce jour, tant commerciaux que de laboratoire.
Les différentes approches ont été développées pour cibler divers types
d’échantillons, tels des substrats de grande surface, ou des poudres,
ou encore pour introduire une activation plasma, entre autres. Ces
approches sont décrites en détail dans
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Au-delà d’une simple approche ALD plus rapide
Optimisation des bâtis et procédé pour la croissance ALD
Sources bibliographiques
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