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Directeur de Recherche CNRS - Université Grenoble Alpes, CNRS, Grenoble INP, LMGP, Grenoble, France
Découvrez le dépôt sélectif par zone, une technique permettant de déposer un matériau uniquement sur certaines zones d’un substrat, sans passer par des étapes de photolithographie et de gravure. Sa sélectivité vis-à-vis de la chimie de surface est un point-clef de sa mise en œuvre.
Découvrez les principes fondamentaux de l’ALD spatiale. Cette technique de dépôt de couches minces présente de nombreux atouts et une grande flexibilité de conception, notamment la possibilité de déposer à la pression atmosphérique et le développement aisé à grande échelle.
Découvrez les principes fondamentaux de l’ALD spatiale. Cette technique de dépôt de couches minces présente de nombreux atouts et une grande flexibilité de conception, notamment la possibilité de déposer à la pression atmosphérique et le développement aisé à grande échelle.
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