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David MUÑOZ-ROJAS

Chargé de Recherche, CNRS - Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique (LMGP), Université Grenoble Alpes (UGA)-CNRS, Grenoble, France

10 novembre 2016

RE262
Dépôt par couche atomique spatiale (SALD)

Découvrez les principes fondamentaux de l’ALD spatiale. Cette technique de dépôt de couches minces présente de nombreux atouts et une grande flexibilité de conception, notamment la possibilité de déposer à la pression atmosphérique et le développement aisé à grande échelle.

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