Microsonde nucléaire - Applications

Pour les différentes méthodes de dosage utilisées avec une microsonde nucléaire, la sensibilité et donc la limite de détection locale sont tributaires de la statistique de mesure. Le nombre d’événements détectés étant proportionnel au nombre d’ions incidents, une statistique convenable n’est atteinte avec un microfaisceau qu’au prix d’une augmentation de plusieurs ordres de grandeur du nombre de charges reçues par unité de surface. Cela peut se traduire par des dommages susceptibles de fausser le résultat des mesures. Un gain sur l’efficacité de détection ne permet que de repousser cette limite. Le mécanisme des interactions particule-matière commence à être bien connu dans le cas des faisceaux d’électrons. Il n’en est pas de même pour les faisceaux d’ions légers ayant une énergie de l’ordre de quelques mégaélectronvolts. Plusieurs phénomènes peuvent être identifiés.