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Ingénieur de recherche - Laboratoire national de métrologie et d’essais (LNE), pôle Photonique-Énergétique, équipe nanométrologie, Trappes, France
Les microscopies à force atomique et électronique à balayage sont aujourd’hui des techniques très répandues pour la caractérisation des nano-objets. La comparaison interlaboratoire permet aux utilisateurs d’appréhender les capacités métrologiques de leurs instruments à ces échelles.
Cet article décrit le contexte du développement et la mise en œuvre d’un microscope à force atomique métrologique. C’est un instrument de référence, traçable au système international d’unités et dédié à la pratique de la nanométrologie dimensionnelle. Sa conception spécifique permet de maîtriser l’incertitude de mesure. Il est principalement utilisé pour l’étalonnage des étalons couramment employés dans le domaine de la microscopie en champ proche ou de la microscopie électronique.